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直拉式长晶炉回收+嘉定涡轮分子泵回收的厂家

文章来源:shxj365 发布时间:2024-04-26 18:21:23
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提高稳定性。支撑柱在炉体支撑的上面,便于下面设备的维护。炉筒升降采用丝杠提升技术,简便干净。全自动控制系统采用模块化设计,维护方便,可靠性高,抗干扰性好。双摄像头实时采集晶体直径信息。液面测温确保下籽晶温度和可重复性。炉内温度或加热率控制方式可选,保控温精度。质量流量计控制氩气流量。高精度真空计结合电动蝶阀实时控制炉内真空度。单晶硅生长炉的特点HD系列硅单晶炉的炉室采用3节设计。便于装料和维护等。炉筒升降支撑采用双立柱设计上筒和上盖可以上升并向两边转动上称重传感器用于晶棒直径的辅助控制。伺服电机和步进电机的混合使用,即可满足转动所需的扭矩,又可实现转速的控制。质量流量计控制氩气流量。质量要求的好法。面向过程的软件FEMAG为用户了可以深入研究的数值工具,用户通过有效的计算机模拟可以设计和优化工作流程。通过对单晶炉热场的计算,优化设计单晶炉的机械结构,在拉晶过程中以结果设定合理的理论拉晶曲线可以在实际生产中是完全可以生长出合格的单晶硅棒。

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